光刻法 quang khắc pháp Hán Việt: quang khắc pháp Tổng quan Cấu tạo: 光 (quang) + 刻 (khắc) + 法 (pháp)Hán Việtquang khắc phápCấu tạo光 + 刻 + 法 · quang + khắc + pháp nghĩa thành phần: quang + khắc + pháp Nghĩa EngCihui photoetching