光刻法的 quang khắc pháp đích Hán Việt: quang khắc pháp đích Tổng quan Cấu tạo: 光 (quang) + 刻 (khắc) + 法 (pháp) + 的 (đích)Hán Việtquang khắc pháp đíchCấu tạo光 + 刻 + 法 + 的 · quang + khắc + pháp + đích nghĩa thành phần: quang + khắc + pháp + đích Nghĩa EngCihui photolithographic